“我认为中国也非常想发展自己的EUV(极紫外光刻)能力，以及适配这一领域的生态系统。但很坦率地说，我认为他们要做到这一点非常困难。”5月23日，英国《金融时报》援引日本光刻胶巨头JSR首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)的话报道称。

　　在半导体制造领域，EUV光刻机和材料的研发难度的确很高。但约翰逊在美国总统拜登访日之际做出如此评论，被这篇报道下方的国外网民批评“过于傲慢”。网民评论直言，“如果认为中国在先进芯片领域需要数十年才能赶上，那就太低估中国的创造力了”、“他们会成功的，这只是时间问题”。

　　实际上，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)CEO温彼得也在今年1月表达过和约翰逊类似的观点，认为“中国不太可能复制出顶尖的EUV光刻机”。但他当时补充称，永远别那么绝对，中国的物理定律和全世界是一样的，“他们肯定会尝试”。

　　中国拿到论文也造不出EUV?日本光刻胶巨头JSR被批“傲慢”

　　英国《金融时报》报道截图

　　JSR公司成立于1957年，中文名为日本合成橡胶，是全球主要的光刻胶供应商之一。在应用方面，光刻胶是半导体、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB) 等产业的重要原材料。在半导体领域，光刻胶分辨率决定器件的尺寸。按曝光波长分类，光刻胶可以分为g线、i线、KrF、ArF和最先进的EUV(极紫外)光刻胶等。

　　第三方数据显示，截至2021年，JSR是全球仅有的四家EUV光刻胶供应商之一，这种光刻胶应用于EUV光刻环节，是制造最先进芯片必不可少的材料。另外，JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一;在整个光刻胶领域，JSR以13%的市场份额位居世界第三，日本东京应化和美国陶氏化学分列第一和第二。

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　　图源：华经情报网

　　埃里克•约翰逊目前担任JSR的CEO，也是日本公司中为数不多的美国高层。他在接受《金融时报》采访时称，中国很难掌握基于极紫外光刻或者被称为EUV光刻(Extreme Ultra-violet)的复杂芯片制造技术。

　　约翰逊做出这一表态之际，正值拜登开展亚洲之行。5月20日，拜登和美国商务部长雷蒙多等人抵达韩国后，直接前往三星最先进的3纳米工厂参观，EUV光刻机是实现这种工艺必不可少的设备，拜登在现场强调“要保证半导体供应链稳定”。

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　　拜登参观三星电子的3纳米工厂

　　作为半导体制造最重要的环节之一，EUV光刻机可以在硅片上刻出需要的微小电路。

　　CINNO Research半导体事业部总经理Elvis Hsu在接受观察者网采访时表示，光刻机是半导体制造设备价格占比最高的部分，约25-30%。其研发难点在于曝光光源、对准系统和透光镜头等技术的整合，以及庞大的资金投入。目前，国内技术领先的光刻机研制厂家可以稳定生产90/65纳米制造工艺的光刻机。

　　“即使中国拿到一份关于化学成分细节的论文……，要在纯度、精度和大规模量产方面实现成功也是非常困难的。事情没有那么简单，他们也没有供应链来支持这一点。”约翰逊在接受前述采访时称，开发尖端技术需要数十年时间和大量资金……行业确实需要像iPhone这样的产品去承担研发成本。

　　毫无疑问，约翰逊是半导体行业具有话语权的人士，但他的观点似乎并没有得到全部网友的认同。

　　观察者网注意到，在这篇报道下方为数不多的评论中，一位国外网友写道：

　　我仍然记得上世纪五六十年代美国汽车和家电制造商拥有相同的傲慢：日本过去生产的产品质量相当低，而西方没有人认为他们可以生产更高质量的产品。他们不妨读一读斯隆1963年的著作《我在通用汽车的岁月》。斯隆在其中宣称：不要把市场份额视为理所当然。

　　我也知道半导体设备是有史以来最复杂的产品。但如果认为中国需要几十年才能赶上，那就低估了中国的能力和创造力。看看超级计算机和生物技术领域吧，中国已经走在世界前列。虽然半导体制造完全是另外一回事，但我认为中国正在瞄准下一代技术(就像大家都在开发4G技术时，中国已经着眼于5G技术一样)，正是因为制造系统会有所不同，他们必须开发一种新的技术来绕过当前的限制。

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　　国外网友评论截图

　　另一位网友写道：

　　我十分好奇，为什么一个如此受人尊敬(由于他的资历和独特的行业地位，一个孤独的美国人在一家日本公司工作)将是如此勇敢(或者是如此愚蠢?)，冒着风险公开发表这样危险的评论。除非我在字里行间漏掉了什么特别的信息，否则我看不出这位高管说的话有什么好处，但我可以想象出他的话中有很多坏处，希望他说这些话是有正当理由的——祝他好运。

　　国外网友评论截图

　　还有一位网友评论道：

　　在我看来，事情的发展方向是，美国试图通过阻碍自由贸易来削弱其竞争对手的经济，这将适得其反。中国等竞争对手将以更低的成本开发自己的替代产品。没有人喜欢被勒索的想法。我认为他们会成功的，这只是时间问题。唯一能阻止他们的人是他们自己(The only people who can stop them are themselves)。

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　　国外网友评论截图

　　在做出前述表态的同时，约翰逊还提到，中国企业正在积极投资不是那么先进的芯片制造技术，这些技术同样很重要，“中国有多少不依赖于前沿技术的机会，人们没有充分认识到这一点。”

　　财报显示，在截至2021年3月31日的财年中，JSR在中国市场实现营收6.62亿美元(约合人民币44.08亿元)，占总营收的比重为16.41%，中国是该公司第二大市场。

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　　JSR财报截图

　　约翰逊指出，中国是JSR增长战略的重要组成部分。但他同时提到，希望能够在“尊重”和“负责任地”为中国客户提供服务的同时，兼顾“对美国政府的关切以及对保护日本利益的关切”。

　　针对约翰逊提到的EUV技术，阿斯麦CEO温彼得曾在今年1月初表示，“因为阿斯麦依赖于不懈的创新，以及整合只有从非中国供应商处才能获得的零部件，中国不太可能独立复制出顶尖的光刻技术。但我的意思并不是绝对不可能，因为中国的物理定律和我们这里是一样的。永远别那么绝对，他们肯定会尝试的。”

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　　阿斯麦NXE3400型EUV光刻机 图片来源：阿斯麦官网

　　从2018年开始，阿斯麦就试图向中国大陆销售EUV光刻机，希望进一步进入中国大陆市场，但荷兰政府一直未批准其出口许可申请。在美国的持续施压之下，这一请求已被荷兰官员搁置。

　　“出口管制将加快中国自主研发，15年时间里他们将做出所有的东西”、“中国完全自主掌控供应链之后，欧洲供应商将彻底失去市场”，其实温彼得去年4月就已经公开表达过焦虑，但美国一直选择视而不见。

　　至于持续两年的全球缺芯问题，约翰逊在前述采访中指出，削弱全球经济的芯片供应瓶颈问题，要到明年才能解决。他认为，半导体行业在满足汽车芯片需求方面尤其存在“问题”，因为这些领域使用的芯片不是那么先进，利润较低，吸引的投资也较少。 有日本厂商说中国难以掌握EUV技术，或许事实如日本厂商所言

　　JSR是全球最大、也是技术最先进的光刻胶企业，是ArF光刻胶、EUV光刻胶最大供应商，但同时JSR是一家美国资本渗透成筛子的企业，就像脚盆鸡的政府那样。最近其来自美国的CEO Eric Johnson就表示，尽管中国推动自给自足，但缺乏行业基础设施将使中国“非常难以”开发领先的芯片制造技术，这里的领先制造技术就是EUV光刻技术。“我认为中国也很想发展自己的 EUV 能力，以及这些东西的生态系统。坦率地说，我认为他们很难做到这一点，”

　　21年工程院院士吴汉明也提到，让一个国家或者地区做一个光刻机是不现实的，因为ASML光刻机供应商超过5000家。当然他的EUV10万个零件的说法就不讨论了，没必要。这儿笔者想说的是，无论是JSR高管说的中国难以掌握EUV技术，还是院士说的让一个国家或地区做光刻机不现实，此类说法还是直指两个核心点：光刻机需要一个完善的产业链和生态链，还需要基础技术的支持，比如基础学科和精密加工水平等。

　　光刻机由光源、工件台、掩膜台、物镜系统、测量系统、减震、掩膜/硅片传输及环境控制等一系列子系统构成，是一个多系统工程整合的产物。一个国家或地区要搞定光刻机，也意味着每一个子系统都要搞定，每一个子系统的参数要达到整机设计要求。但说实话，单靠国内一己之力研究出高性能光刻机，是不现实的。很多人盯着华卓精科的双工作台、科益虹源的光源，但其他零零散散的厂商也不能忽视。

　　关于EUV，目前国内从事相关子系统研发的动态很少，相关消息也不多。曾经国内也有从事相关系统研究的学者，比如张兴强博士。张兴强博士在哈工大读博期间开始研究EUV光源，曾发表《毛细管放电的X光激光若干特性及极紫外光刻光源研究》、《可用于极紫外光刻的三线毛细管的概念设计》等多篇相关论文，21年《毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源装置》还获得专利。张兴强博士目前在湖北汽车工业学院数理与光电工程学院担任副教授，研究方向是先进光学技术/光刻光源，但话说湖北汽车工业学院这个普通院校，在国产EUV光刻机研究中能期待多大作用呢?

　　基础研究、供应链和生态，缺一不可。这是我们的短板，而ASML借助全球化优势扬长避短，终成正果。